XEA|nova®
Обзор
Области применения: fuel cells, photovoltaics
Форма подложки: flat/rigid
Материал подложки: glass, metals, polymer, stainless steel, wafers
Технология нанесения покрытий: electron beam technology, magnetron sputtering down, magnetron sputtering up
Назначение: anti-reflection, contact, corrosion protection, passivation, TCO
Слои и многослойные покрытия: Ag, Al, AlOx, AZO, C, Co, Cr, Cu, ITiO, ITO, Ni, NiV, SiN, SiOx, Ti, TiOx, Zn
Соответствующие компоненты и системы:
Sputter Components
Pre-Treatment