Системы загрузочного шлюза компании VON ARDENNE специально сконструированы в целях НИОКР и для мелкомасштабного производства. Они удовлетворяют разные технологические требования и ,таким образом, идеально подходят для развития новых технологий нанесения покрытия и для надежного, воспроизводимого покрытия небольшого количества подложек.
Конструкция систем двухкамерная: загрузочный шлюз и технологическая камера. Благодаря модульной конструкции можно выбрать и комбинировать разные технологии и условия обработки для нанесения покрытия на подложку.Наши системы загрузочного шлюза могут работать как в режиме ручного управление, так и в польностью автоматическом режиме, в зависимости от применения.
Системы загрузочного шлюза подходят для обработки подложек с учетом требований заказчика и имеющих максимальный размер 8 дюймов в диаметре или 200 мм x 200 мм. Для обработки подложек малых размеров или имеющих нестандартную форму, как, к примеру, трехмерные объекты или фрагменты, используется несущий элемент.
