Онлайн модуль для тримминга и шимминга VON ARDENNE – это приложение на веб-основе, которое позволяет быструю оптимизацию однородности по толщине (% диапазон) отдельных тонких слоев.
После ввода данных кривой изменения толщины и актуальных параметров регулирующего газа, программное обеспечение предлагает новые параметры регулирующего газа, которые ведут к улучшенной однородности.
Таким же образом могут быть рассчитанны оптимальные настройки для магнитных планок (шимминг).
Применение:
- Автоматическая настройка однородности после смены мишени
- Пит-стоп коррекция долговременного дрейфа кривой изменения толщины
Преимущества:
- Настройка методом проб и ошибок заменяется испытанным на практике математическим методом
- Наилучшие настройки достигаются обычно после 3-4 тестов с единичным слоем и временные затраты на техническое обслуживание сокращаются
- Улучшенное качество продукта
- Позволяет применение при высоких требованиях к однородности
- Простой и удобный в пользовании
- Работает на любом устройстве с подключением к интернету и браузером, к примеру, персональный компьютер на рабочем месте, смартфон,...
